电子加工废气处理方案
电子加工工艺及污染源分析
电子加工工艺涵盖了从原材料准备到成品组装的一系列复杂过程,涉及多种技术和材料。空气污染主要来源于化学反应、焊接过程、清洗操作中产生的挥发性有机化合物(VOCs)、颗粒物和有害气体。以下是电子加工的主要工艺步骤及可能产生的污染源分析:
· 硅片制造(半导体基板)
化学腐蚀和清洗:在硅片表面处理过程中使用大量的化学品,如氢氟酸、硝酸等,产生含重金属离子和有机物的废水。
光刻胶涂覆与显影:涉及到光刻胶和其他有机溶剂的使用,会释放挥发性有机化合物(VOCs)。
扩散和掺杂:为了改变硅片的电学特性,需要进行高温扩散或离子注入,此过程可能会使用磷、砷等有毒物质。
· 芯片制造
蚀刻和沉积:这些过程需要用到各种气体(如氯气、四氟化碳等)和液体化学品,产生废气和废液。
化学机械抛光(CMP):用于平坦化晶圆表面,会产生含有磨料和化学试剂的废水。
· 封装测试
焊接和粘接:SMT(表面贴装技术)中使用的焊锡膏和粘合剂含有铅、镉等重金属,以及有机溶剂,可能导致空气污染。
清洗:为去除助焊剂残留,通常采用溶剂清洗,这也会造成VOCs排放。
· 电路板制造
镀层处理:PCB(印刷电路板)制造中的电镀工序会使用重金属(如铜、镍、金等),导致重金属污染。
钻孔和铣削:产生粉尘和噪音污染。
· 组装
元器件安装:包括波峰焊、回流焊等步骤,使用大量焊料和助焊剂,可能造成空气污染。
检测和调试:电子设备运行时的电磁辐射也可能成为一种污染源。
电子加工油烟治理工艺流程
针对食品加工的烟气特点,本方案工艺流程拟采用“通风系统(集烟、管道)+初效过滤系统(隔尘网)+主要净化系统(静电吸附)+水喷淋+排烟系统(风机、烟囱)。

电子加工油烟净化的流程介绍
电子加工油烟经过烟气管道输送到天台静电设备中,通过高压静电作用,烟气中的绝大部分油份被滤除掉。净化后烟气送入后端的喷淋塔中,在水雾的击打下,将烟气中的剩余颗粒物击落。同时,通过碱性喷淋水将烟气中的酸性气体溶解在水中,最后净化后的烟气经过引风机抽排至烟囱加高排放。
电子加工油烟净化的推荐方案
针对电子加工烟气排放,我们推荐以下方案:

此方案适用于电子加工过程中产生的各种烟气,采用常规降温装置+中置净化设备+风机;降温装置可将高温烟气快速降低(≦40度),以保障后端净化设备的净化效率;中置净化设备采用多级电场独立供电技术,单级停电或故障不影响设备整体运行,根据烟气浓度的高低适当调节工作电流的大小,在确保净化效率的前提下达到节能的效果,双驱中置净化设备采用卧式结构,内置宽极距电场,具有抗毛絮、抗水、抗蜡等特性,且清洗维护便捷。
电子加工油烟净化的核心设备选用参数
系列型号 | 处理风量 | 电场结构 | 净化效率 | 产品介绍 |
中置净化设备 | 6K-72K | 宽极距板刺电场 | 95% | 查看产品详情>> |